Em 1931, através dos engenheiros alemães Ernest Ruska e Knoll Max, foi construído o primeiro modelo de microscópio eletrônico do mundo, que, em sua primeira versão, apesar de conseguir uma ampliação menor do que a proporcionada pelos microscópios de luz, conseguiu provar não apenas que a utilização do feixe focalizado de elétrons era viável, mas que os rumos e o futuro da ciência dependiam desse desenvolvimento.
Todos os modelos de microscópios eletrônicos que se sucederam e são amplamente utilizados atualmente derivam diretamente desse modelo inicial de 1931, criado por Max e Ruska, sendo eles:
(MET) Microscópio Eletrônico de Transmissão:
Os microscópios eletrônicos de transmissão são capazes de produzir imagens por meio da gravação do feixe de elétrons após esse ter passado por uma fina fatia de amostra. A amostra é então colocada em uma grade composta por fio de cobre e, posteriormente, submetida a um feixe de elétrons, gerado, na maioria das vezes, por meio da execução de alta tensão através de um filamento de tungstênio. Assim, o feixe de elétrons “viaja” por meio de uma lente condensadora, atinge a amostra e prossegue por meio de lentes projetivas e objetivas, antes de ser recolhido em uma tela de substância fosforescente. Tal qual ocorre com todos os meios de microscopia eletrônica, a amostra alvo precisa ser tanto desidratada como isolada sob vácuo, com o intuito de evitar uma possível contaminação provocada por vapor de água, evitando assim a dispersão de elétrons. Os Microscópios Eletrônicos de Transmissão são capazes de produzir as maiores ampliações entre todos os modelos de microscópios eletrônicos.
(MEV) Microscópio Eletrônico de Varredura:
Juntamente com os MET, os Microscópios Eletrônicos de Varredura são os modelos mais utilizados de microscopia eletrônica. Todavia, seu funcionamento se dá de forma contrária aos METs, uma vez que os MEVs produzem imagens por meio da coleta de elétrons secundários ou inelasticamente espalhados que saltam para fora da superfície de uma amostra. Assim, os dados eletrônicos são digitalizados com o intuito de produzir imagens da superfície com considerável profundidade de campo.
(MER) Microscópio Eletrônico de Reflexão:
Em termos de estrutura, os MER, Microscópios Eletrônicos de Reflexão, operam de modo bastante similar ao Microscópios Eletrônicos de Varredura. Todavia, os MER recolhem os elétrons retroespalhados ou elasticamente dispersos logo após o feixe de elétrons primários atingirem a superfície da amostra. Destaca-se ainda que os MER são mais associados com a microscopia eletrônica de baixa energia de rotação polarizada para retratar a marcação de domínio magnético das superfícies da amostra na construção de circuitos do computador.
(METV) Microscópio Eletrônico de Transmissão e Varredura:
Os Microscópios Eletrônicos de Transmissão e Varredura, tal qual os METs (Microscópios Eletrônicos de Transmissão) tradicionais, passam um feixe de elétrons por meio de uma fatia fina da amostra. Todavia, em seu processo, um METV focaliza o feixe de antemão e elabora a imagem através de varredura no padrão retangular de linhas. Microscópios Eletrônicos de Transmissão e Varredura são muito adequados para técnicas de mapeamento de análise, como, por exemplo, a microscopia de campo escuro anular e espectroscopia de perda de energia eletrônica.